指日,由中原科协机合发扬的第八届优良科技论文拣选安插到底公布,南华大学机械工程学院郭剑纠合西南交通大学钱林茂教学团队于2022年7月在Friction(不凡活动安放领军期刊)发布的论文膺选第八届中原科协良好科技论文。

  本论文归属制造业与质地学科集群,来自本集群的9大学科行家共举荐论文684篇,经529名评审大师网上评构和21名大家组成的终审评审大众委员会现场评审,终末评选出22篇卓异论文。其它,本论文也是2023年度摩擦学查办范畴唯一的获奖论文。

  化学机器扔光(CMP)是得回原子/近原子级平坦度GaN衬底的先决要求。由于枯窘对GaN晶体机器-化学耦闭微观去除机理的科学知道,其CMP技巧尚存结果低、过失驾驭难的标题。为此,本论文从摩擦学角度,借助原子力显微镜等机谋,孑立查办单个Al2O3掷光磨粒功效下GaN衬底的微观磨损机理,显现Al2O3‒GaN界面的摩擦化学反应(呆板化学反响)是低压力要求GaN产生磨损的根源;与机器去除比拟,这种由摩擦化学响应开辟的磨损行为不引起亚皮相的晶格破坏。晶体极性和境况湿度强烈教养摩擦化学反响,进而导致磨损状貌和磨损量(率)的分别;相对湿度越高,摩擦化学反应加剧,N极性面的磨损越厉重。联合微区XPS和TEM等理解,详细出GaN皮相因悬键构造引起的分歧性摩擦化学去除模型—表面悬键与OH‒间的斥力是相信摩擦化学反响活性的起源。本论文可为GaN衬底和晶圆皮相高效劳、低摧毁的超精良加工供给重要的理论根据。

  据悉,“优越科技论文遴选安顿”自2016年发轫由中原科协构造评选,旨在鼓励科技职业者将更多高水平研究劳绩在国内期刊布告,扞卫所有人们国科技期刊的效果首发权,驾御学术评议的主导权,从泉源上胀动大家国科技期刊高质地提高。膺选论文是所有人国科技期刊上的卓绝论文代表,也是对弘大科技工作者的科技改善的高度肯定。

  郭剑博士良久悉力于呆板摩擦学和微纳制作的查办,进入南华大学奇迹尔后已在Friction,Tribology International,Applied Surface Science等国际权势期刊发表论文10余篇;因科研功绩超出,于2022年当选南华大学青年卓异人才。(刘阳 段凌峰)